캐논 광학기술 캐논 앞세워 ASML 아성 도전하는 일본 반도체

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반도체 ‘소부장(소재·부품·장비)’ 강국을 넘어 세계 반도체 시장을 호령했던 1980년대 ‘신화’ 재현에 나선 일본 반도체 산업이 한국과 대만 추격에 속도를 내고 있다. 이미 세계 최고 기술력의 소부장 토대 위에 정부의 전방위 지원으로 파운드리(위탁생산)를 비롯해 글로벌 반도체 공급망의 중추로 재도약한다는 게 일본의 포부다.

일본 캐논사가 10년간의 투자 끝에 개발한 ‘나노 임프린트’ 노광시스템

30일 아사히신문 등 일본 현지 언론은 캐논이 최근 판매를 시작한 반도체 생산용 노광장비 ‘나노 임프린트 노광 시스템’을 소개하면서 반도체 제조의 판도를 바꿀 ‘게임 체인저’라고 강조했다. 노광공정은 반도체 웨이퍼에 빛을 쪼아 미세한 설계 회로를 새겨넣는 필수 작업으로, 회로의 선폭이 좁아지고 세밀해질수록 더 높은 단계의 노광장비가 필요하다. 현재 극자외선(EUV) 노광장비 시장은 네덜란드 ASML이 사실상 독점하고 있는 구조로, 캐논은 자사 신제품을 무기로 독점 시장을 깬다는 전략이다.

캐논은 나노 임프린트 노광시스템이 5나노미터(nm·1nm은 10억분의 1m) 공정과 동등한 수준의 반도체를 제조할 수 있으며, 최대 2나노까지 작아질 수 있는 잠재력이 있다고 설명했다. 2014년부터 10년간 투자한 나노 임프린트 기술은 기존 광학 노광 방식과 특허를 피하면서 원하는 반도체 설계도를 웨이퍼에 직접 인쇄하는 방식이다.

세계 1위 파운드리 기업 대만 TSMC의 일본 구마모토 첨단 반도체 공장 신축 현장. 교도통신

시장조사업체 옴디아의 스기아먀 카즈히로 컨설팅 디렉터는 “ASML이 노광장비 시장에서 독보적인 위치를 차지한 상황에서 캐논이 새로운 기술로 성공적으로 시장에 진입한다면 시장 자체에 좋은 일이 될 것”이라면서 “캐논이 단번에 독점을 무너뜨리기는 쉽지 않겠지만, 소량 주문 제작 제품이나 회로 패턴이 복잡한 제품 등 특정 제품 카테고리에서는 우위를 점할 수 있을 것”이라고 전망했다.



대만 파운드리 기업들의 일본 투자도 이어지고 있다. 이미 파운드리 1위 기업 TSMC가 구마모토현에 최첨단 반도체 공장을 짓고 있는 가운데 대만 3위 기업 PSMC는 일본 금융지주사 SBI홀딩스와 동북부 미야기현에 생산 시설을 신축하기로 했다. PSMC와 SBI는 미야기현 최대 도시 센다이 인근 공업단지에 반도체 공장을 세워 이르면 2026년부터 가동할 계획이다. PSMC는 차량용·산업용 40·55나노 공정 반도체를 생산하고, 중장기적으로 28나노 반도체를 생산한다는 목표다. 사업 규모는 8000억엔(약 7조 2600억원)으로 일본 정부가 1400억엔을 지원할 예정이다.

박성국 기자