DGIST, 최첨단 시설 활용한 국내기업 기술개발 지원

DGIST(총장 국양)는 일본수출규제에 따라 피해가 예상되는 기업들의 기술개발을 적극 지원하기 위해 DGIST 중앙기기센터를 확대 개방하여 독자적인 기술 개발을 지원키로 했다.

DGIST 중앙기기센터는 국내 중·소 기업체에서 개발된 소재가 대기업 검증을 통과하도록 공정 플랫폼 및 정밀 분석을 제공하는 등 국내 최고 수준의 연구 플랫폼에서 소재?소자에 대한 검증, 분석, 실증이 가능한 일괄 서비스를 제공한다.

중앙기기센터는 국내 최고 수준의 반도체 FAB(소자클린룸)을 보유하고 있으며, 주요 인프라는 실리콘계 반도체 공정, MEMS, 통신소자, 센서, 마이크로가공, 계측시뮬레이션 및 나노·바이오분석을 위한 공용장비 등 총 170여 대가 구축돼 있다.

DGIST 중앙기기센터는 현재 반도체 미세박막용 전구체 제조기업에 TEM(투과전자현미경)을 활용한 극미세 나노분석기술을 제공하여 대기업 및 해외기업에 납품하기 위한 유효성 테스트를 진행하고 있다. 또한, 반도체 블랭크 마스크(Blank Mask) 소재제작 유망기업에 대해서는 최신의 구조?성분?분광 분석을 제공하고 있으며, 일본수출규제로 이슈가 된 포토레지스트 포토레지스트 : 반도체,디스플레이 핵심소재. 빛에 노출됨으로써 약품에 대한 내성이 변화하는 고분자 재료. 개발 기업에는 테스트 베드를 제공함으로써 제품의 국산화를 돕고 있다.

대구 한찬규 기자