경제 플러스 / 구리연마용 슬러리 공동개발 기사 소리로 듣기 다시듣기 글씨 크기 조절 글자크기 설정 닫기 글자크기 설정 시 다른 기사의 본문도 동일하게 적용 됩니다. 가 가 가 가 가 공유하기 공유 닫기 페이스북 네이버블로그 엑스 카카오톡 밴드 https://m.seoul.co.kr/news/2003/09/05/20030905020002 URL 복사 댓글 0 수정 2003-09-05 00:00 입력 2003-09-05 00:00 하이닉스반도체는 동우화인켐과 공동으로 구리배선 공정에 적용되는 구리 연마용 슬러리(Slurry)를 국내 최초로 개발했다고 4일 밝혔다.반도체 제조공정 중 웨이퍼 표면에 불필요하게 형성된 구리박막을 평탄하게 연마하기 위한 핵심 재료다. 2003-09-05 20면 Copyright ⓒ 서울신문 All rights reserved. 무단 전재-재배포, AI 학습 및 활용 금지