한국원자력硏 이종민 박사팀

기존의 가공용 레이저보다 정밀도를 50배 이상 향상시킨 차세대형레이저가 국내 연구진에 의해 개발됐다.

한국원자력연구소 이종민(李鍾旼) 박사팀은 기존의 레이저에사용된섬광등 대신 반도체로 제작된 레이저 다이오드(LD)를 사용,정밀도와 효율성을 월등히 높인 600W급 고출력 다이오드 고체레이저(DPSSL)를개발했다고 6일 밝혔다.

DPSSL은 기존의 섬광등형 레이저나 CO₂(이산화탄소) 레이저보다 전기 에너지를 레이저 에너지로 전환하는 효율이 최고 20배(21%) 높으며,정밀도가 수㎛(1㎛:100만분의 1m)로 50배 이상 우수하다.또 기존레이저(200∼500시간)에 비해 1만시간 이상 사용할 수 있다.

이 박사팀은 “600W급 레이저의 출력을 수 ㎾급으로 높인다면 기존의 가공용 레이저 뿐 아니라 반도체 D램을 생산하는 데 사용되는 엑시머 레이저도 대체할 수 있을 것”이라고 말했다.

김미경기자