[과학플러스] 반도체 공정진단 워크숍 개최

한국표준과학연구원(원장 정광화)은 26일 표준연 기술지원동에서 ‘제1회 반도체공정진단 워크숍’을 개최한다. 이번 행사는 차세대 반도체 기술의 핵심이 되는 실시간 공정 모니터링 분석 진단기술 현황 및 기술교류를 위해 마련한 것으로, 관련 산학연 전문가들의 모임을 정례화한 것은 처음이다.

이번 워크숍에서는 ▲반도체공정진단 기술 현황 ▲화학원료물질(Precursor) 진단 ▲CVD/ALD 공정 및 플라스마 진단 ▲오염입자 진단 및 관련 소프트웨어 개발 현황 등을 논의한다.

박승기 이영표기자