[국내 과학자 연구개발 성과 2題] 세계 최고 수준의 정밀도 탄소나노튜브 탐침 개발

세계 최고 수준의 정밀도를 갖는 탄소나노튜브 탐침 제작기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.

한국표준과학연구원 안상정 박사는 1일 “집속이온빔을 이용, 탄소나노튜브를 3차원 공간에서 원하는 위치와 각도로 구부리거나 펴는 기술을 개발했다.”고 밝혔다. 나노 탐침은 나노 구조물의 형상을 측정하거나 전도성, 전자기적 성질, 마찰력 등의 특성을 파악하는 데 사용된다. 원자힘 현미경의 핵심부품인 나노 탐침은 그동안 실리콘 등을 이용해 왔으나 뿔 모양의 구조 때문에 생기는 비정확성과 마모 등의 단점 때문에 측정에 한계를 지닌 것으로 지적돼 왔다.

안 박사는 “이번에 개발한 탄소나노튜브 탐침을 10㎚ 선폭의 원자힘 현미경 개발에 활용하고 있다.”면서 “앞으로 고집적화 현상이 강화되고 있는 반도체 공정에서 나노 소자의 핵심 치수를 측정하기 위한 탐침 개발에 중요한 기술로도 활용될 수 있을 것”이라고 전망했다.

장세훈기자