반도체 검사 기술 특허 분쟁 국내 中企, 美대기업 눌렀다

반도체 검사 기술의 특허권을 놓고 미국 대기업과 벌인 특허 분쟁에서 국내 중소기업이 최종 승리했다. 대법원은 26일 차세대 반도체 검사 장비 생산업체인 파이컴이 특허심판원을 상대로 낸 특허무효 청구소송에서 미국 폼팩터사의 특허를 인정해 원고 패소 판결했던 원심을 파기환송했다. 파이컴은 2004년부터 반도체 웨이퍼(집적회로를 만들 때 쓰는 실리콘 단결정의 얇은 판) 상태에서 생산된 반도체를 자동 검사하는 이른바 멤스프로브 기술을 개발해 관련 제품을 생산했다. 이에 수동검사 기술인 프로브 기술을 보유한 폼팩터사가 특허 4건에 대한 침해를 주장해 52개월 동안 각종 송사가 진행됐다.

파이컴 쪽 대리인인 법무법인 광장 권영모 변호사는 “이번 소송은 막대한 자금력을 배경으로 특허침해 소송을 제기해 경쟁사의 수주·판매 활동을 방해하는 영업전략을 사용하는 거대 외국회사들의 움직임을 막아냈다는 데 의의가 있다.”고 말했다.

홍성규기자