독일,한국의 「반도체 실리콘」 기술 도입
수정 1994-10-11 00:00
입력 1994-10-11 00:00
반도체용 실리콘 제조 기술에서 세계 최고를 자랑하는 독일 회사가 최근 동부제강과 한국화학연구소가 공동 개발한 「고순도 다결정 실리콘 제조공정」의 특허를 도입하고 이를 자사 사보에 소개했다.
전세계 다결정 실리콘 시장에서 약 35%의 점유율을 보이는 바커 케미사는 이 특허를 총 3백84만달러에 구입했는데 루돌프 스타우디글 사장은 사보 최근 호에서 기술적인 설명과 함께 도입 배경을 밝혔다.그는 『한국은 우리와 반도체 생산 원료가 같은 TCS(삼염화실란)를 이용하면서도 공정이 우수하다』고 밝힌 뒤 『회사의 경쟁력을 높이는 데 이번 특허 도입이 크게 기여할 것』이라고 장담했다.
계약에 따라 한국에서 파견한 기술진들이 공장 소재지인 부르크하우젠에 이 공정을 위한 파일럿 플랜트를 설치하고 있다며 이를 운영해본 뒤 상업생산을 위한 설비를 설치할 계획이라고 말했다.세계 최대의 다결정 실리콘 생산 업체가 자존심을 무릅쓰고 우리나라로부터 특허를 도입하며 이를 공개한 것은 이례적이다.<김현철기자>
1994-10-11 8면
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